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高純氮

高純氮

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純化方法

氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?/span>

用途

在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

消防應(yīng)急措施

迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚,遇點(diǎn)火源著火爆炸。用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。用霧狀水保持火場(chǎng)中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發(fā),但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮,感到呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。

物理性質(zhì)

分子式: N2

性質(zhì):純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味無(wú)毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相對(duì)分子質(zhì)量 28.013

熔點(diǎn) 63.15K,-210℃,-346oF

沸點(diǎn),195.6

臨界溫度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF

臨界壓力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

臨界體積 90.1cm3/mol

臨界密度 0.3109g/cm3

臨界壓縮系數(shù) 0.292

偏心因子 0.040

液體刻密度 ,-180℃時(shí) 0.729g/cm3

液體熱膨脹系數(shù) ,-180℃時(shí) 0.00753 1/℃

表面張力 ,-210℃時(shí) 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm

氣體密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)時(shí) 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3

氣體相對(duì)密度,101.325 kPa(1atm)和70oF時(shí)(空氣=1) 0.967

汽化熱 , 沸點(diǎn)下 202.76kJ/kg,87.19 BTU/1b

熔化熱 , 熔點(diǎn)下 25.7kJ/kg,11.05 BTU/1b

氣體定壓比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)

氣體定容比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)

氣體比熱容比 , cp/cv 1.401

液體比熱容 ,-183℃時(shí) 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )

因體比熱容 ,-223℃時(shí) 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )

氣體摩爾熵 ,25℃時(shí) 191.5 J/(mol·k )

氣體摩爾生成熵 ,25℃時(shí) 0 J/(mol·k )

氣體摩爾生成焓 ,25℃時(shí) 0 KJ/mol

氣體摩爾吉布斯生成能 ,25℃時(shí) 0 KJ/mol

溶解度參數(shù) 9.082 (J/cm3 )0.5

液體摩爾體積 34.677 cm3 /mol

在水中的溶解度 ,25℃時(shí) 17.28×10 -6(w)

氣體黏度 ,25℃時(shí) 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP

液體黏度 ,-150℃時(shí) 0.038mPa ·s,0.038 cp

氣體熱導(dǎo)率 ,25℃ 時(shí) 0.02475 W/(m · K)

液體熱導(dǎo)率 ,-150℃時(shí) 0.0646W/(m · K)




暫無(wú)參數(shù)內(nèi)容

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